Требования к качеству воды для электронной промышленности. Деионизованная вода

В электронной промышленности используется глубоко деионизованная вода.

Требования для деионизованной воды представлены в нормативах РФ ОСТ 11.029.003-80 и нормативах американской электронной промышленности ASTM D-5127-90.

 

Требования к качеству воды для электронной промышленности по ОСТ 11.029.003-80
и ASTM D-5127-90 (выдержки из документов)

Параметры воды Марка воды по ОСТ 11.029.003-80 Марка воды по нормам ASTM D-5127-90
А Б В Е-1 Е-2 Е-3 Е-4
Удельное сопротивление при температуре 20°С, МОм*см 18 10 1 18 17,5 12 0,5
Содержание органических веществ (окисляемость), мг O2/л, не более 1,0 1,5  
Общий органический углерод, мкг/л, не более   25 50 300 1000
Содержание кремниевой кислоты (в пересчете на SiO3-2), мг/л, не более 0,01 0,05 0,2 0,005 0,01 0,05 1,0
Содержание железа, мг/л, не более 0,015 0,02 0,03        
Содержание меди, мг/л, не более 0,005 0,001 0,002 0,5
Содержание микрочастиц с размером 1-5 мкм, шт/л, не более 20 50

не регламент.

 
Содержание микроорганизмов, колоний/мл, не более 2 8

не регламент.

 
Хлориды, мкг/л, не более   1 10 1000
Никель, мкг/л, не более   0,1 1 2 500
Нитраты, мг/л, не более   1 5 500
Фосфаты, мг/л, не более   1 5 500
Сульфат, мг/л, не более   1 5 500
Калий, мкг/л, не более   2 5 500
Натрий, мкг/л, не более   0,5 1 5 500
Цинк, мкг/л, не более   0,5 1 5 500


Главным показателем, контролируемым при производстве и использовании воды для электронной техники, является удельное электрическое сопротивление.


Основным способом получения деионизованной воды с высоким электрическим сопротивлением является мембранная очистка на установках двухступенчатого обратного осмоса с последующей глубокой деионизацией на ионообменных смолах.


О подготовке воды для производства электронных компонентов Вы можете прочитать в статье Водоподготовка для электронной промышленности.