Требования к качеству воды для электронной промышленности. Деионизованная вода
В электронной промышленности используется глубоко деионизованная вода.
Требования для деионизованной воды представлены в нормативах РФ ОСТ 11.029.003-80 и нормативах американской электронной промышленности ASTM D-5127-90.
Требования к качеству воды для электронной промышленности по ОСТ 11.029.003-80
и ASTM D-5127-90 (выдержки из документов)
| Параметры воды | Марка воды по ОСТ 11.029.003-80 | Марка воды по нормам ASTM D-5127-90 | |||||
| А | Б | В | Е-1 | Е-2 | Е-3 | Е-4 | |
| Удельное сопротивление при температуре 20°С, МОм*см | 18 | 10 | 1 | 18 | 17,5 | 12 | 0,5 |
| Содержание органических веществ (окисляемость), мг O2/л, не более | 1,0 | 1,5 | |||||
| Общий органический углерод, мкг/л, не более | 25 | 50 | 300 | 1000 | |||
| Содержание кремниевой кислоты (в пересчете на SiO3-2), мг/л, не более | 0,01 | 0,05 | 0,2 | 0,005 | 0,01 | 0,05 | 1,0 |
| Содержание железа, мг/л, не более | 0,015 | 0,02 | 0,03 | ||||
| Содержание меди, мг/л, не более | 0,005 | 0,001 | 0,002 | 0,5 | |||
| Содержание микрочастиц с размером 1-5 мкм, шт/л, не более | 20 | 50 |
не регламент. |
||||
| Содержание микроорганизмов, колоний/мл, не более | 2 | 8 |
не регламент. |
||||
| Хлориды, мкг/л, не более | 1 | 10 | 1000 | ||||
| Никель, мкг/л, не более | 0,1 | 1 | 2 | 500 | |||
| Нитраты, мг/л, не более | 1 | 5 | 500 | ||||
| Фосфаты, мг/л, не более | 1 | 5 | 500 | ||||
| Сульфат, мг/л, не более | 1 | 5 | 500 | ||||
| Калий, мкг/л, не более | 2 | 5 | 500 | ||||
| Натрий, мкг/л, не более | 0,5 | 1 | 5 | 500 | |||
| Цинк, мкг/л, не более | 0,5 | 1 | 5 | 500 | |||
Главным показателем, контролируемым при производстве и использовании воды для электронной техники, является удельное электрическое сопротивление.
Основным способом получения деионизованной воды с высоким электрическим сопротивлением является мембранная очистка на установках двухступенчатого обратного осмоса с последующей глубокой деионизацией на ионообменных смолах.
О подготовке воды для производства электронных компонентов Вы можете прочитать в статье Водоподготовка для электронной промышленности.